リニアアクチュエータ

特許公開番号

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出願人

シーケーディ

課題

スライドテーブルが往復動するときにリニアガイド部にかかる偏荷重を抑制できるとともに、スライドテーブルがシリンダ装置に重ねて配置されたリニアアクチュエータに比べて薄型のリニアアクチュエータにすること。

解決手段

リニアアクチュエータ11は、ピストンロッド12を有するシリンダ装置13と、ピストンロッド12の軸線方向に沿ってシリンダ装置13と並ぶように配置されたスライドテーブル17とを備えている。ピストンロッド12は、第1及び第2フローティング部材39,40を介してスライドテーブル17と連結されている。スライドテーブル17は、一対のリニアガイド33、及び一対のリニアガイド33それぞれに係合した一対のガイドレール32によって、往復動が案内される。ピストンロッド12は、リニアガイド33と平行で、かつ、一対のリニアガイド33との間の距離が等しくなっている。