ジェイテクト、超高温用グリース封入軸受を開発

 ジェイテクトはこのほど、特殊環境用EXSEV(エクゼブ)軸受シリーズのラインナップに、300℃まで使用可能なグリース封入軸受を加えた。これにより、半導体製造装置などの耐熱性が求められる設備において、長寿命化が実現、ユーザーのメンテナンスコスト低減などに貢献できる。

18120701ジェイテクト開発品の構造

 本年12月から同社徳島工場・国分工場・亀山工場とグループ企業のダイベアで量産を開始する予定。半導体製造装置メーカーなどに販売を展開、2000万円/年の販売を見込む。

 開発品は、12月12日〜14日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN 2018」で展示される。

 半導体製造装置では近年、製造プロセスの短縮化に伴い装置内の温度が高温になる傾向にある。従来のグリースでは200℃を超えると油分の蒸発が増え、増ちょう剤の熱分解が発生して使えなくなるため、高温環境下では固体潤滑剤を使用していた。しかし、固体潤滑剤は寿命が短いためメンテナンス周期が短いという問題があり、さらに高い耐熱性・耐久性を備えた特殊環境用軸受の研究開発が必要とされていた。

 これに対し開発品は、蒸発しにくい基油と熱分解に強い増ちょう剤を組み合わせたグリースを使用することで、300℃までの使用が可能となった。

 また、従来の固体潤滑剤と比較すると、寿命は6倍以上に伸びるなど、性能を大幅に向上、耐熱性が求められる設備において、メンテナンスコストの低減(メンテナンス周期の延長)と作業の効率化に貢献する。

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